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平成23年 9月 [印刷用タイトルあり] [タイトルなし]

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化学物質による災害発生事例
分類	特定化学物質による中毒等
発生状況	半導体製造工程に設置してあるパイロットウエハ（基板）のエッチング工程において、酸化皮膜を剥離するためのフッ化水素酸が槽から漏れ出し、メッシュ状の床及び床下へ広がった。警報を聞いてブースへ行き漏洩したフッ酸の処理を行った作業者13名が被災した。
被災状況	中毒13名
発生月	平成23年 9月
業種	半導体, 製造業
発生原因等	設備の点検不足, 適切な保護具未着用, 作業主任者の未選任
原因物質	フッ化水素
引用	厚生労働省

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平成23年 9月

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検索経路
発生年度(西暦)別	2011年
発生年度別	平成23年
要因分類別	特定化学物質
要因詳細分類別	特定化学物質による中毒等
発生日別	平成23年 9月
業種別	半導体
業種別	製造業
被災状況別	中毒
原因物質別	フッ化水素
発生原因等別	作業主任者の未選任
発生原因等別	設備の点検不足
発生原因等別	適切な保護具未着用
被災規模(new)別	中毒13名
No	AN2013-re2017
公開日別	データなし

アクセス数	0 (0)
ウォッチ数	0
読み	とくていかがくぶっしつ
作成者	openknow
作成日時	2013年4月26日 17:01:43
最終更新者	openknow
最終更新日時	2021年3月1日 00:57:12
スキーマ	(なし)