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平成23年 9月 [印刷用 タイトルあり] [タイトルなし]

化学物質による災害発生事例
分類特定化学物質による中毒等
発生状況半導体製造工程に設置してあるパイロットウエハ(基板)のエッチング工程において、酸化皮膜を剥離するためのフッ化水素酸が槽から漏れ出し、メッシュ状の床及び床下へ広がった。警報を聞いてブースへ行き漏洩したフッ酸の処理を行った作業者13名が被災した。
被災状況中毒13名
発生月平成23年 9月
業種半導体, 製造業
発生原因等設備の点検不足, 適切な保護具未着用, 作業主任者の未選任
原因物質フッ化水素
引用厚生労働省

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平成23年 9月

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発生年度(西暦)別 2011年
発生年度別 平成23年
要因分類別 特定化学物質
要因詳細分類別 特定化学物質による中毒等
発生日別 平成23年 9月
業種別 半導体
業種別 製造業
被災状況別 中毒
原因物質別 フッ化水素
発生原因等別 作業主任者の未選任
発生原因等別 設備の点検不足
発生原因等別 適切な保護具未着用
被災規模(new)別 中毒13名
No AN2013-re2017
公開日別 データなし
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読み とくていかがくぶっしつ
作成者 openknow
作成日時 2013年4月26日 17:01:43
最終更新者 openknow
最終更新日時 2021年3月1日 00:57:12
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