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MEMS [印刷用タイトルあり] [タイトルなし]

英名

Micro Electro-Mechanical System

説明

Micro Electro-Mechanical System の頭文字を取ったものである。MEMS方式の光スイッチはLSI技術を応用して直径数百μm程のマイクロミラーを多数並べ、マイクロミラーの傾斜角度或いは位置を変化させることにより光路を変えるためのシステムである。大規模な光スイッチング用システムとして開発が進められている。

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MPI

METIS

MEMS

LSI中の銅拡散

LSI

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読み	MEMS
作成者	openknow4
作成日時	2005年12月15日 21:09:20
最終更新者	openknow4
最終更新日時	2005年12月15日 21:09:20
スキーマ	(なし)

MEMS [印刷用 タイトルあり] [タイトルなし]

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